表面性状解析モードは、粗さ測定データ（2Dおよび3Dデータ）を読込み、Ra:平均粗さ、Rq:二乗平均粗さ、Rku:尖り度、Rsk:偏り度など粗さに関する代表的な性状パラメータを算出します。
この他にも入力粗さのノイズリダクション、FFT、補正（円筒面、傾斜面→平面）などの修正や分析機能をサポートしています。 また、出力された表面性状特性データは NewtonSuite-RSCalc および NewtonSuite-OilFilm の入力粗さパラメータとして利用できます。 ASP-μのこのモードは、RSCalc および OilFilmの標準機能にもなっています。